SD15.X
標準單軸掃描運動模塊，高剛性模組
• 無摩擦柔順結(jié)構(gòu)導(dǎo)向
• 亞納米級位置分辨率
• 內(nèi)置電容傳感器，閉環(huán)控制
• 高動態(tài)毫秒級響應(yīng)速度
標準單軸掃描運動模塊，高剛性模組
• 無摩擦柔順結(jié)構(gòu)導(dǎo)向
• 亞納米級位置分辨率
• 內(nèi)置電容傳感器，閉環(huán)控制
• 高動態(tài)毫秒級響應(yīng)速度
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產(chǎn)品參數(shù) |
SD15.X |
SD30.X |
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可選版本 |
.NM，絕對無磁版本；.HV，高真空版本；.UHV，超高真空版本； |
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外形尺寸 |
62 × 40 × 13.5 mm |
80 × 40 × 13.5 mm |
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運動方向 & 行程 (閉環(huán)) |
15 μm |
30 μm |
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主體材料 |
標準版，.HV，.UHV 鋁合金，鋼：180 g .NM 鋁合金，鈦合金：160 g |
標準版，.HV，.UHV 鋁合金，鋼：250 g .NM 鋁合金，鈦合金：220 g |
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線性誤差度 |
0.03% |
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重復(fù)定位精度 |
2 nm |
4 nm |
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運動分辨率（閉環(huán)) |
0.2 nm |
0.5 nm |
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運動分辨率（開環(huán)) |
0.1 nm |
0.2 nm |
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剛性 |
28 N/μm |
18 N/μm |
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共振頻率， 0 負載(± 20%) |
3.3 KHz |
2.2 KHz |
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共振頻率， 0.3 kg 負載(± 20%) |
1 KHz |
0.625 KHz |
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最大負載 |
300 g |
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位置傳感器類型 |
電容式位置傳感 |
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線纜 & 接頭 |
默認：屏蔽線纜， D-Sub 7W2；.UHV：屏蔽線纜，SMA |
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控制器規(guī)格 |
MC-Archimedes.N 系列 |
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13810146393
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