LS65x.Lab
| 參數(shù)項 | LS65x.Lab | LS65x.Lab.E |
| 特殊版本 | .HV, 高真空版本；.UHV, 超高真空版本；.NM, 完全無磁版本 | 無 |
| 外形尺寸 | 65 × 65 × 13 mm | 65 × 65 × 13 mm |
| 主體材料 | 標(biāo)準(zhǔn)版 鋁合金，鋼：160 g；.HV, .UHV 純鈦，鋼：260 g；.NM, 純鈦，陶瓷：110 g | 鋁合金，鋼：160 g |
| 運動行程 | 30 mm | 30 mm |
| 速度范圍 | 默認(rèn): 0.1 μm/s ~ 20 mm/s；.HV & .UHV 版本: 0.1 μm/s ~ 2 mm/s | |
| 驅(qū)動力 | 典型值: 2 N；可選配: 4 N | |
| 保持力 | 典型值: 3 N；可選配: 5 N | |
| 水平方向使用最大負載 | 2 kg | |
| 豎直方向使用最大負載 | 默認(rèn): 100 g；可選配: 250 g | |
| 雙向位置重復(fù)精度 | ± 100 nm | ± 300 nm |
| 全行程俯仰/偏擺 | 0.3 mrad | 0.3 mrad |
| 最小步伐 (閉環(huán)) | 5 nm | 100 nm |
| 位置傳感器類型 | 光學(xué)位置傳感器 | 光學(xué)位置傳感器 |
| 位置傳感器分辨率 | 標(biāo)準(zhǔn)版本 2 nm；adv 版本 0.5 nm | 50 nm |
| 線纜 & 接頭 | 默認(rèn): 屏蔽線纜D-Sub15；.UHV版本: Kapton漆包線, D-Sub15 (PEEK) | |
| 控制器規(guī)格 | MC-Newton.S系列 | |
13810146393
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