LS80z.Lab

| 產(chǎn)品參數(shù) | LS80z.Lab |
| 1. 特殊版本 | .HV,高真空版本; |
| .UHV,超高真空版本; | |
| .NM,完全無磁版本 | |
| 2. 外形尺寸 | 80 × 80 × 40 mm |
| 3. 主體材料 | 標準版 鋁合金,鋼:720 g; |
| .HV .UHV 純鈦,鋼:840 g; | |
| .NM 純鈦,陶瓷:640 g | |
| 4. 運動行程 | 10 mm |
| 5. 速度范圍 | 默認:0.1 μm/s ~ 3 mm/s; |
| .HV & .UHV 版本:推薦使用 0.3 mm/s | |
| 6. 保持力 | 15 N |
| 7. 水平方向使用最大負載 | 典型值:1 kg;可選配:3 kg |
| 8. 雙向位置重復精度 | ± 150 nm |
| 9. 全行程俯仰 / 偏擺 | 0.3 mrad |
| 10. 最小步優(yōu)(閉環(huán)) | 5 nm |
| 11. 位置傳感器類型 | 光學位置傳感器 |
| 12. 位置傳感器分辨率 | 標準版本 2 nm;.adv 版本 0.5 nm;經(jīng)濟版本 .E 50 nm |
| 13. 線纜 & 接頭 | 默認:屏蔽線纜 D–Sub15; |
| .UHV 版本:Kapon 漆包線,D–Sub15 (PEEK) | |
| 14. 控制器規(guī)格 | MC-Newton.S 系列 |