LS65z.Lab
• 超高真空，完全無磁版本兼容
• 百萬次全行程耐久測試
• 納米級位置連續(xù)調(diào)節(jié)
• 可與旋轉(zhuǎn)臺，搖擺臺等自由堆疊組合
| 產(chǎn)品參數(shù) | LS65z.Lab | LS65z.Lab.E |
|---|---|---|
| 1. 特殊版本 | .HV，高真空版本；.UHV，超高真空版本；.NM，完全無磁版本 | 無 |
| 2. 外形尺寸 | 65 × 65 × 44 mm | 65 × 65 × 44 mm |
| 3. 主體材料 | 標(biāo)準(zhǔn)版 鋁合金，鋼：310 g；.NM 純鈦，陶瓷：270 g；.HV .UHV 純鈦，鋼：500 g | 鋁合金，鋼：310 g |
| 4. 運(yùn)動行程 | 10 mm | 10 mm |
| 5. 速度范圍 | 默認(rèn)：0.1 μm/s ~ 10 mm/s；.HV & .UHV 版本：推薦使用 1 mm/s | - |
| 6. 保持力 | 7.5 N | 7.5 N |
| 7. 水平方向使用最大負(fù)載 | 典型值：500 g；可選配：1.5 kg | - |
| 8. 雙向位置重復(fù)精度 | ± 150 nm | ± 300 nm |
| 9. 全行程俯仰 / 偏擺 | 0.3 mrad | 0.3 mrad |
| 10. 最小步優(yōu)（閉環(huán)） | 5 nm | 100 nm |
| 11. 位置傳感器類型 | 光學(xué)位置傳感器 | 光學(xué)位置傳感器 |
| 12. 位置傳感器分辨率 | 標(biāo)準(zhǔn)版本 2 nm；.adv 版本 0.5 nm | 50 nm |
| 13. 線纜 & 接頭 | 默認(rèn)：屏蔽線纜 D–Sub15；.UHV 版本：Kapon 漆包線，D–Sub15 (PEEK) | - |
| 14. 控制器規(guī)格 | MC-Newton.S 系列 | MC-Newton.S 系列 |
13810146393
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