10 kg 超高負(fù)載,3自由度 - XYZ線性移動(dòng)
• 壓電陶瓷堆疊驅(qū)動(dòng)
• 高負(fù)載能力
• 無(wú)摩擦柔順結(jié)構(gòu)導(dǎo)向
• 亞納米級(jí)位置分辨率
• 內(nèi)置電容傳感器,閉環(huán)控制
• 直接位置檢測(cè)
三軸掃描運(yùn)動(dòng) SH30.XYZ.C 尺寸

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產(chǎn)品參數(shù) |
SH30.XYZ |
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可選版本 |
.NM,絕對(duì)無(wú)磁版本;.HV,高真空版本;.UHV,超高真空版本; |
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外形尺寸 |
160 × 160 × 34.5 mm |
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運(yùn)動(dòng)方向 & 行程 (閉環(huán)) |
30 × 30 × 15 μm |
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主體材料 |
標(biāo)準(zhǔn)版,.HV,.UHV 鋁合金,鋼:4.5 kg;.NM 鋁合金,鈦合金:4.2 kg |
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線性誤差度 |
0.03% |
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重復(fù)定位精度 |
4 nm |
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運(yùn)動(dòng)分辨率(閉環(huán)) |
0.3 nm |
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運(yùn)動(dòng)分辨率(開環(huán)) |
0.2 nm |
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剛性 |
25 N/μm |
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共振頻率, 0 負(fù)載(± 20%) |
X:760 Hz ;Y:760 Hz ;Z:830 Hz |
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共振頻率, 10 kg 負(fù)載(± 20%) |
X:220 Hz ;Y:220 Hz ;Z:340 Hz |
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最大負(fù)載 |
10 kg |
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位置傳感器類型 |
電容式位置傳感 |
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線纜 & 接頭 |
默認(rèn):屏蔽線纜, D-Sub 7W2;.UHV:屏蔽線纜,SMA |
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控制器規(guī)格 |
MC-Archimedes.N 系列 |