“Speed系列”線性位移臺(tái)——LS50x.Speed
產(chǎn)品特色
• 靜?運(yùn)動(dòng) • ?運(yùn)動(dòng)速度 • 閉環(huán)運(yùn)動(dòng)控制 • 納?級(jí)分辨率
產(chǎn)品圖片&尺寸
產(chǎn)品參數(shù)
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1
|
可選版本
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.NM，絕對(duì)無磁版本；
.HV，高真空版本；
.UHV，超高真空版本；
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2
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外形尺寸
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50 × 50 × 14 mm
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3
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主體材料
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標(biāo)準(zhǔn)版 鋁合金，鋼：120 g；.HV/.UHV：鈦，鋼：150 g；.NM 鈦，陶瓷：130 g
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4
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運(yùn)動(dòng)行程
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24 mm
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5
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速度范圍
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默認(rèn)：5 mm/s ~ 200 mm/s ；.HV & .UHV 版本：5 mm/s ~ 20 mm/s
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6
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驅(qū)動(dòng)力
|
2 N
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7
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保持力
|
3 N
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8
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水平方向使用最大負(fù)載
|
2 kg
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9
|
豎直方向使用最大負(fù)載
|
100 g
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10
|
雙向重復(fù)定位精度
|
± 250 nm
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|
11
|
全行程俯仰/偏擺
|
0.3 mrad
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12
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最小步伐(開環(huán))
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50 nm
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13
|
位置傳感器類型
|
光學(xué)位置傳感器
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14
|
位置傳感器分辨率
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2 nm
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15
|
線纜 & 接頭
|
默認(rèn)：屏蔽線纜D-Sub15；.UHV版本：Kapton 漆包線，D-Sub15 (PEEK)
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16
|
控制器規(guī)格
|
MC-Doppler系列
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“Speed系列”線性位移臺(tái)——LS65x.Speed
產(chǎn)品特色
• 靜?運(yùn)動(dòng) • ?運(yùn)動(dòng)速度 • 閉環(huán)運(yùn)動(dòng)控制 • 納?級(jí)分辨率
產(chǎn)品參數(shù)
|
1
|
可選版本
|
.NM，絕對(duì)無磁版本；
.HV，高真空版本；
.UHV，超高真空版本；
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|
2
|
外形尺寸
|
65 × 65 × 15 mm
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|
3
|
主體材料
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標(biāo)準(zhǔn)版 鋁合金，鋼：200 g；.HV/.UHV：鈦，鋼：270 g；.NM 鈦，陶瓷：240 g
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4
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運(yùn)動(dòng)行程
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30 mm
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5
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速度范圍
|
默認(rèn)：5 mm/s ~ 200 mm/s ；.HV & .UHV 版本：5 mm/s ~ 20 mm/s
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|
6
|
驅(qū)動(dòng)力
|
3 N
|
|
7
|
保持力
|
4 N
|
|
8
|
水平方向使用最大負(fù)載
|
3 kg
|
|
9
|
豎直方向使用最大負(fù)載
|
150 g
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|
10
|
雙向重復(fù)定位精度
|
± 250 nm
|
|
11
|
全行程俯仰/偏擺
|
0.3 mrad
|
|
12
|
最小步伐(開環(huán))
|
50 nm
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13
|
位置傳感器類型
|
光學(xué)位置傳感器
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14
|
位置傳感器分辨率
|
2 nm
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15
|
線纜 & 接頭
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默認(rèn)：屏蔽線纜D-Sub15；.UHV版本：Kapton 漆包線，D-Sub15 (PEEK)
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16
|
控制器規(guī)格
|
MC-Doppler系列
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“Speed系列”線性位移臺(tái)——LS105x.Speed
產(chǎn)品特色
• 靜?運(yùn)動(dòng) • ?運(yùn)動(dòng)速度 • 閉環(huán)運(yùn)動(dòng)控制 • 納?級(jí)分辨率
產(chǎn)品圖片&尺寸
產(chǎn)品參數(shù)
|
1
|
可選版本
|
.NM，絕對(duì)無磁版本；
.HV，高真空版本；
.UHV，超高真空版本；
|
|
2
|
外形尺寸
|
105 × 105 × 20 mm
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|
3
|
主體材料
|
標(biāo)準(zhǔn)版 鋁合金，鋼：660 g；.HV/.UHV：鈦，鋼：960 g；.NM 鈦，陶瓷：910 g
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|
4
|
運(yùn)動(dòng)行程
|
60 mm
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5
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速度范圍
|
默認(rèn)：5 mm/s ~ 200 mm/s ；.HV & .UHV 版本：5 mm/s ~ 20 mm/s
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|
6
|
驅(qū)動(dòng)力
|
4 N
|
|
7
|
保持力
|
5 N
|
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8
|
水平方向使用最大負(fù)載
|
5 kg
|
|
10
|
雙向重復(fù)定位精度
|
± 250 nm
|
|
11
|
全行程俯仰/偏擺
|
0.2 mrad
|
|
12
|
最小步伐(開環(huán))
|
50 nm
|
|
13
|
位置傳感器類型
|
光學(xué)位置傳感器
|
|
14
|
位置傳感器分辨率
|
2 nm
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15
|
線纜 & 接頭
|
默認(rèn)：屏蔽線纜D-Sub15；.UHV版本：Kapton 漆包線，D-Sub15 (PEEK)
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16
|
控制器規(guī)格
|
MC-Doppler系列
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“Speed系列”旋轉(zhuǎn)位移臺(tái) — RS65.Speed
產(chǎn)品特色
• ?扭矩
• 空間緊湊
• ?轉(zhuǎn)速
• 閉環(huán)控制，內(nèi)置光柵位置傳感器
產(chǎn)品圖片&尺寸
產(chǎn)品參數(shù)
| 1 |
可選版本 |
.NM，絕對(duì)無磁版本；.HV，高真空版本；.UHV，超高真空版本 |
| 2 |
外形尺寸 |
65 × 65 × 25 mm |
| 3 |
主體材料 |
標(biāo)準(zhǔn)版 /.NM 鋁合金：330 g；.HV/.UHV 鈦合金：360 g |
| 4 |
運(yùn)動(dòng)行程 |
360° |
| 5 |
速度范圍 |
默認(rèn)：60 °/s ~ 720 °/s；.HV & .UHV 版本：推薦使用 60 °/s |
| 6 |
最大負(fù)載 |
2 kg |
| 7 |
額定力矩 |
0.5 N·m |
| 8 |
最大力矩 |
0.8 N·m |
| 9 |
保持力矩 |
0.8 N·m |
| 10 |
最小步伐 |
15 μrad |
| 11 |
位置傳感器類型 |
光學(xué)位置傳感器 |
| 12 |
位置傳感器分辨率 |
1 μrad |
| 13 |
線纜 & 接頭 |
默認(rèn)：屏蔽線纜 D–Sub15；.UHV 版本：Kapton 漆包線，D–Sub15 (PEEK) |
| 14 |
控制器規(guī)格 |
MC–Doppler 系列 |
“Speed系列”旋轉(zhuǎn)位移臺(tái) — RS105.Speed
產(chǎn)品特色
• ?扭矩
• ?轉(zhuǎn)速
• 閉環(huán)控制，內(nèi)置光柵位置傳感器
產(chǎn)品圖片&尺寸
產(chǎn)品參數(shù)
| 1 |
可選版本 |
.NM，絕對(duì)無磁版本；.HV，高真空版本；.UHV，超高真空版本 |
| 2 |
外形尺寸 |
105 × 135 × 23 mm |
| 3 |
主體材料 |
標(biāo)準(zhǔn)版 /.NM 鋁合金：800 g；.HV/.UHV 鈦合金：1 kg |
| 4 |
運(yùn)動(dòng)行程 |
360° |
| 5 |
速度范圍 |
默認(rèn)：1.3 °/s ~ 360 °/s；.HV & .UHV 版本：推薦使用 36 °/s |
| 6 |
最大負(fù)載 |
5 kg |
| 7 |
額定力矩 |
0.4 N·m |
| 8 |
最大力矩 |
0.6 N·m |
| 9 |
保持力矩 |
0.6 N·m |
| 10 |
最小步伐 |
0.75 μrad |
| 11 |
位置傳感器類型 |
光學(xué)位置傳感器 |
| 12 |
位置傳感器分辨率 |
1 μrad |
| 13 |
線纜 & 接頭 |
默認(rèn)：屏蔽線纜 D–Sub15；.UHV 版本：Kapton 漆包線，D–Sub15 (PEEK) |
| 14 |
控制器規(guī)格 |
MC–Doppler 系列 |
13810146393
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