FDU030
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1 |
可選版本 |
.NM，絕對無磁版本； .HV，高真空版本； .UHV，超高真空版本； |
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2 |
外形尺寸 |
58 x 25 x 20 mm |
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3 |
主體材料 |
標(biāo)準(zhǔn)版， .HV，.UHV 鋼：100 g; .NM 鈦合金，陶瓷：60 g |
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4 |
運動行程 |
20 mm |
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5 |
速度范圍 |
默認(rèn)：0.1 mm/s ~ 1 mm/s；.HV & .UHV 版本：0.1 mm/s ~ 0.3 mm/s |
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6 |
驅(qū)動力 |
30 N |
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7 |
保持力 |
40 N |
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8 |
最小步伐（開環(huán)) |
2 nm |
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9 |
開環(huán)運動分辨率 |
0.02 nm |
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10 |
線纜 & 接頭 |
默認(rèn)：屏蔽線纜D-Sub15；.UHV版本：Kapton 漆包線，D-Sub15 (PEEK) |
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11 |
控制器規(guī)格 |
MC-LuZhishen系列 |
| 1 | 可選版本 | .NM，絕對無磁版本；.HV，高真空版本；.UHV，超高真空版本 |
| 2 | 外形尺寸 | 58 × 25 × 25 mm |
| 3 | 主體材料 | 標(biāo)準(zhǔn)版、.HV、.UHV：鋼，130 g；.NM：鈦合金，陶瓷，75 g |
| 4 | 運動行程 | 15 mm |
| 5 | 速度范圍 | 默認(rèn)：0.1 mm/s ~ 1 mm/s；.HV & .UHV 版本：0.1 mm/s ~ 0.3 mm/s |
| 6 | 驅(qū)動力 | 30 N |
| 7 | 保持力 | 40 N |
| 8 | 雙向重復(fù)定位精度 | ± 125 nm |
| 9 | 全程俯仰 / 偏擺 | 0.3 mrad |
| 10 | 最小步伐（開環(huán)） | 2 nm |
| 11 | 最小步伐（閉環(huán)） | 5 nm |
| 12 | 開環(huán)分辨率 | 0.02 nm |
| 13 | 位置傳感器類型 | 光學(xué)位置傳感器 |
| 14 | 位置傳感器分辨率 | 2 nm |
| 15 | 線纜 & 接頭 | 默認(rèn)：屏蔽線纜 D–Sub15；.UHV 版本：Kapton 漆包線，D–Sub15 (PEEK) |
| 16 | 控制器規(guī)格 | MC–LuZhishen 系列 |
| 1 | 可選版本 | .NM，絕對無磁版本；.HV，高真空版本；.UHV，超高真空版本 |
| 2 | 外形尺寸 | 110 × 30 × 40 mm |
| 3 | 主體材料 | 標(biāo)準(zhǔn)版、.HV、.UHV：鋼，200 g；.NM：鈦合金，陶瓷，130 g |
| 4 | 運動行程 | 70 mm（長度可定制） |
| 5 | 速度范圍 | 默認(rèn)：0.1 mm/s ~ 3 mm/s；.HV & .UHV 版本：0.1 mm/s ~ 0.9 mm/s |
| 6 | 驅(qū)動力 | 100 N |
| 7 | 保持力 | 120 N |
| 8 | 最小步伐（開環(huán)） | 2 nm |
| 9 | 開環(huán)運動分辨率 | 0.02 nm |
| 10 | 線纜 & 接頭 | 默認(rèn)：屏蔽線纜 D–Sub15；.UHV 版本：Kapton 漆包線，D–Sub15 (PEEK) |
| 11 | 控制器規(guī)格 | MC–LuZhishen 系列 |
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