| 1 |
可選版本 |
.HV，高真空版本；.UHV，超高真空版本；.NM，完全無磁版本 |
.HV，高真空版本；.UHV，超高真空版本；.NM，完全無磁版本 |
.HV，高真空版本；.UHV，超高真空版本；.NM，完全無磁版本 |
| 2 |
外形尺寸 |
90 × 24 × 14 mm |
180 × 24 × 14 mm |
250 × 36 × 16.5 mm |
| 3 |
主體材料 |
標準版、.HV、.UHV：.NM：純鈦，陶瓷 |
標準版、.HV、.UHV：.NM：純鈦，陶瓷 |
標準版、.HV、.UHV：.NM：純鈦，陶瓷 |
| 4 |
質(zhì)量（標準版） |
174 g |
388 g |
840 g |
| 5 |
運動行程 |
50 mm |
100 mm |
150 mm |
| 6 |
安裝空間 |
140 × 24 × 14 mm |
280 × 24 × 14 mm |
400 × 36 × 16.5 mm |
| 7 |
速度范圍 |
默認：0.1 μm/s ~ 10 mm/s；.HV & .UHV 版本：0.1 μm/s ~ 1 mm/s |
默認：0.1 μm/s ~ 10 mm/s；.HV & .UHV 版本：0.1 μm/s ~ 1 mm/s |
默認：0.1 μm/s ~ 10 mm/s；.HV & .UHV 版本：0.1 μm/s ~ 1 mm/s |
| 8 |
驅(qū)動力 |
2 N |
2 N |
2 N |
| 9 |
保持力 |
3 N |
3 N |
3 N |
| 10 |
水平方向使用最大負載 |
1 kg |
2 kg |
3 kg |
| 11 |
雙向重復定位精度 |
± 150 nm |
± 150 nm |
± 150 nm |
| 12 |
全行程俯仰 / 偏擺 |
0.2 mrad |
0.2 mrad |
0.2 mrad |
| 13 |
最小步伐（閉環(huán)） |
5 nm |
5 nm |
5 nm |
| 14 |
位置傳感器類型 |
光學位置傳感器 |
光學位置傳感器 |
光學位置傳感器 |
| 15 |
位置傳感器分辨率 |
2 nm |
2 nm |
2 nm |
| 16 |
線纜 & 接頭 |
默認：屏蔽線纜 D–Sub15；.UHV 版本：Kapton 漆包線，D–Sub15 (PEEK) |
默認：屏蔽線纜 D–Sub15；.UHV 版本：Kapton 漆包線，D–Sub15 (PEEK) |
默認：屏蔽線纜 D–Sub15；.UHV 版本：Kapton 漆包線，D–Sub15 (PEEK) |
| 17 |
控制器規(guī)格 |
MC–Newton.S 系列 |
MC–Newton.S 系列 |
MC–Newton.S 系列 |
13810146393
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