三?由度并聯(lián)運(yùn)動(dòng)臺(tái) — Free3D.ZTxTy.070
產(chǎn)品特色
• 超安靜運(yùn)動(dòng)
• 納?級(jí)分辨率
• 斷電位置?保持
• 并聯(lián)驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)
• 內(nèi)置?精度光學(xué)位置傳感器
• 靈活的可定制?案
產(chǎn)品圖片&尺寸
產(chǎn)品參數(shù)
| 1 |
可選版本 |
.HV,高真空版本；
.UHV,超高真空版本；
.NM,完全無磁版本； |
| 2 |
外形尺寸 |
Ø70×82 mm |
| 3 |
主體材料 |
標(biāo)準(zhǔn)版， .HV,.UHV鋁合金，鋼：800 g;,NM純鈦，陶瓷：460 g |
| 4 |
最大垂直負(fù)載 |
5 kg |
| 5 |
中空孔徑 |
Ø10 mm |
| 6 |
運(yùn)動(dòng)行程Z,θX,θY* |
±2.5 mm,±9°,±10° |
| 7 |
單向重復(fù)精度Z,θX,θY |
±0.2 μm,±8μrad,±8μrad |
| 8 |
最小步伐Z,θX,θY |
10 nm,1 μrad,1μrad |
| 9 |
傳感器類型 |
光學(xué)位置傳感器 |
| 10 |
位置傳感器分辨率 |
2 nm |
| 11 |
線纜&接頭 |
默認(rèn)：屏蔽線纜D-Sub15;.UHV版本： Kapton漆包線， D-Sub15(PEEK) |
| 12 |
控制器規(guī)格 |
MC-Free3D |
三?由度并聯(lián)運(yùn)動(dòng)臺(tái) — Free3D.ZTxTy.100
產(chǎn)品特色
• 超安靜運(yùn)動(dòng)
• 納?級(jí)分辨率
• 斷電位置?保持
• 并聯(lián)驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)
• 內(nèi)置?精度光學(xué)位置傳感器
• 靈活的可定制?案
產(chǎn)品圖片&尺寸
產(chǎn)品參數(shù)
| 1 |
可選版本 |
HV，高真空版本；UHV，超高真空版本；NM，完全無磁版本； |
| 2 |
外形尺寸 |
Ø100 × 78 mm |
| 3 |
主體材料 |
標(biāo)準(zhǔn)版，+HV，+UHV 鋁合金，銅：1010 g；NM 純鈦，陶瓷：580 g |
| 4 |
最大垂直負(fù)載 |
500 g |
| 5 |
中空孔徑 |
Ø20 mm |
| 6 |
運(yùn)動(dòng)行程 Z, 6X, 6Y* |
0–20 mm, ± 30°, ± 30° |
| 7 |
單向重復(fù)精度 Z, 6X, 6Y* |
± 0.2 μm, ± 10 μrad, ± 10 μrad |
| 8 |
最小步優(yōu) Z, 6X, 6Y* |
10 nm, 1 μrad, 1 μrad |
| 9 |
傳感器類型 |
光學(xué)位置傳感器 |
| 10 |
位置傳感器分辨率 |
2 nm |
| 11 |
線纜 & 接頭 |
默認(rèn)：屏蔽線纜 D-Sub15；UHV 版本：Kapton 涂層線纜，D-Sub15 (PEEK) |
| 12 |
控制器規(guī)格 |
MC-Free3D |
13810146393
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