· 標(biāo)配密封陶瓷X射線光管，功率大，亮度高，可持續(xù)工作，長(zhǎng)期可靠性好
· 高運(yùn)動(dòng)精度測(cè)角儀，配合高精密光學(xué)元件，可提供高準(zhǔn)直、高單色的X射線光束
· 二維光子計(jì)數(shù)探測(cè)器，具有很高的空間分辨率，可以大幅度提高測(cè)試效率
· 具有良好的兼容性和擴(kuò)展性，支持模組快捷切換，以滿足不同應(yīng)用場(chǎng)景的需求
· 智能光路系統(tǒng)：光路自動(dòng)切換、模組自動(dòng)識(shí)別
測(cè)試數(shù)據(jù)
SXRD-HR100測(cè)試數(shù)據(jù):半高寬(FWHM)
測(cè)試條件
· B/B幾何光路
· 光管功率：40KV，40mA
· 索拉狹縫：3°
· 入射狹縫：0.6°
· 步進(jìn)模式：step=0.003°(單晶硅)
· 連續(xù)模式：step=0.02°(多晶硅)
高精度X射線衍射儀SXRD-HR100技術(shù)特點(diǎn)
大功率光管（兩種靶材可選）
Cu靶：標(biāo)配光源，波長(zhǎng)=1.54Å，適用于絕大部分X射線衍射實(shí)驗(yàn)和應(yīng)用場(chǎng)景
Mo靶：波長(zhǎng)=0.71Å，主要針對(duì)輕元素（如 Li、B）材料和超高分辨（如半導(dǎo)體應(yīng)變層）的衍射實(shí)驗(yàn)
模塊化與自動(dòng)化設(shè)計(jì)
· 系統(tǒng)具有模組自動(dòng)識(shí)別功能，可隨時(shí)了解系統(tǒng)配置狀態(tài)
· 光路自動(dòng)調(diào)整，可有效降低實(shí)驗(yàn)難度，提高實(shí)驗(yàn)效率
· 不同光路之間可自動(dòng)切換，大大提高實(shí)驗(yàn)的自動(dòng)化程度
超高分辨率
· 高精度測(cè)角儀，配合光學(xué)編碼器的全閉環(huán)控制，可實(shí)現(xiàn)的定位精度為 ±0.0001°
· X射線多層膜反射鏡（Goebel鏡），用于X射線光束修飾，可將光束準(zhǔn)直性提高到0.03°以內(nèi)，并有效去除特征光譜中的Kβ部分
· Ge220雙晶單色器，用于X射線光束修飾，可進(jìn)一步提高光束單色性，是超高分辨率衍射的必備光學(xué)元件
· 可選配二維單光子計(jì)數(shù)探測(cè)器，具有大面積（有效面積 77.1x 38.4毫米）、高空間分辨率（最小像素75x75 微米）和高計(jì)數(shù)率
客戶價(jià)值
提升科研效率 （自動(dòng)化 + 高通量，縮短研發(fā)周期）
自動(dòng)化操作：自動(dòng)校準(zhǔn)功能、模塊識(shí)別功能、一鍵式流程，可以有效降低實(shí)驗(yàn)難度，提高實(shí)驗(yàn)效率，非常適合需要快速迭代的研發(fā)場(chǎng)景
大面積光子計(jì)數(shù)探測(cè)器：可同時(shí)采集多角度數(shù)據(jù)，結(jié)合 AI 輔助分析，快速完成物相識(shí)別或應(yīng)力分布計(jì)算，加速實(shí)驗(yàn)-反饋循環(huán)
節(jié)約運(yùn)行成本（低維護(hù)設(shè)計(jì) + 模塊化擴(kuò)展 + 自動(dòng)化設(shè)計(jì)，降低全生命周期成本）
低維護(hù)與高壽命：標(biāo)配的陶瓷密封X射線管，使用壽命長(zhǎng)，日常無需維護(hù)成本
模塊化設(shè)計(jì)與擴(kuò)展性：用戶無需為不同需求購(gòu)置多臺(tái)設(shè)備，通過升級(jí)附件，即可擴(kuò)展新的功能，降低初期投資和后續(xù)升級(jí)成本
節(jié)約人力成本：自動(dòng)化操作減少對(duì)專業(yè)操作員的依賴，新手經(jīng)過短期培訓(xùn)即可獨(dú)立完成復(fù)雜測(cè)試，有效降低人力資源投入
提升數(shù)據(jù)的質(zhì)量與可靠性（高靈敏度 + 穩(wěn)定性，確保數(shù)據(jù)可靠性，支持高精度工藝控制）
高精度與低噪聲：高精密光學(xué)元件，對(duì)X射線光束進(jìn)行準(zhǔn)直和單色，配合多能量閾值可選的光子計(jì)數(shù)探測(cè)器，可以有效降低噪聲信號(hào)，提高實(shí)驗(yàn)的分辨率，確保弱信號(hào)樣品的精準(zhǔn)檢測(cè)，提高實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)的可靠性
穩(wěn)定性與重復(fù)性：高精度機(jī)械加工，配合光學(xué)編碼器形成的全閉環(huán)控制，保證了測(cè)角儀的運(yùn)動(dòng)精度、穩(wěn)定性、長(zhǎng)期可靠性，可以滿足工業(yè)質(zhì)量控制（如半導(dǎo)體晶圓檢測(cè)）對(duì)可重復(fù)性的嚴(yán)苛要求
靈活性（模塊化設(shè)計(jì)，兼容性強(qiáng)，擴(kuò)展性強(qiáng)，滿足跨領(lǐng)域需求，適應(yīng)技術(shù)趨勢(shì)迭代）
易用性（智能化操作降低技術(shù)門檻，遠(yuǎn)程協(xié)作提升資源利用率）
應(yīng)用領(lǐng)域
技術(shù)規(guī)格
| 項(xiàng)目 |
規(guī)格參數(shù) |
|
外觀尺寸
|
1300(寬)×1880(高)×1300(深)mm
|
|
X射線光管
|
最大輸出功率3kw，電壓 10 - 60kv，電流 0 - 50mA
|
|
靶材 Cu，陽(yáng)極接地，鈹窗 300μm，起飛角 6°
|
|
電子束焦斑：0.4×1.2mm
|
|
水冷：最小流速 3.5l/min,最大水壓 490KPa,壓降 98KPa
|
|
高壓電源
|
輸入：電壓 230Vac - 10%, one phase,電流 33A
|
|
輸出：電壓 0 - 60kv,電流 0 - 80mA
|
|
穩(wěn)定性：預(yù)熱 1 小時(shí)后,8 小時(shí)內(nèi)電壓和電流變化 < 0.01%
|
|
紋波：在 1KHz 以下，0.03% rms；在 1KHz 以上，0.75% rms
|
|
測(cè)角儀
|
類型：垂直放置測(cè)角儀
|
|
角度范圍：-110° ~ +168°
|
|
角度定位：步進(jìn)電機(jī) + 光學(xué)編碼器
|
|
最小步長(zhǎng) 0.0001°，運(yùn)動(dòng)精度≤±0.0001°
|
| 項(xiàng)目 |
規(guī)格參數(shù) |
|
探測(cè)器
|
類型：光子計(jì)數(shù)型混合像素半導(dǎo)體探測(cè)器
|
|
有效面積：77.1×38.4 = 2961mm²
|
|
像素大?。?5×75μm
|
|
尺寸：100 x 140 x 93 mm
|
|
樣品臺(tái)
|
標(biāo)準(zhǔn)樣品臺(tái)：Rx, RY, Z, phi
|
|
XYZ 運(yùn)動(dòng)平臺(tái) (可選)： X, Y, Z
|
|
毛細(xì)管樣品臺(tái) (可選)：X, Y, phi
|
|
五軸樣品臺(tái) (可選)： X, Y, Z, phi, Chi
|
|
Non - ambient 樣品臺(tái) (可選)
|
|
光學(xué)元件
|
可變狹縫：0.05 - 10mm
|
|
soller 狹縫：0.5°丶0.2°丶0.1°丶0.05°丶0.02°
|
|
Goebel 鏡：發(fā)散度≤0.03°， f1 = 100mm，單色性 Kα
|
|
雙晶單色器：Ge220×2
|
13810146393
在線咨詢
