拉曼-AFM聯(lián)用系統(tǒng)SuperSPM-R900
儀器功能及特點(diǎn)：
• 采用基于石英音叉的壓電自感知探針，如Akiyama探針、SuperSPM探針。
• 采用標(biāo)準(zhǔn)顯微鏡，實(shí)現(xiàn)拉曼或者熒光探測(cè)，無(wú)需特殊改造。
• 實(shí)現(xiàn)頻率調(diào)制模式的形貌成像等測(cè)量分析功能，測(cè)量時(shí)樣品無(wú)激光干擾。
• 采用高精度嵌入式測(cè)控系統(tǒng)，主機(jī)隔音抗震設(shè)計(jì)，抗干擾能力強(qiáng)。
• 可選配多種規(guī)格的平面閉環(huán)型掃描器。
• 可選配擴(kuò)展模塊增強(qiáng)系統(tǒng)功能，支持特殊功能定制。
拉曼-AFM聯(lián)用系統(tǒng)SuperSPM-R900主要技術(shù)參數(shù)：
1、大氣環(huán)境的原子力顯微鏡（AFM），主要組件包含主機(jī)、控制器、測(cè)控軟件及數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)
2、采用壓電自感知探針實(shí)現(xiàn)形貌成像及力梯度-距離譜曲線等測(cè)量功能，形貌成像工作模式為頻率調(diào)制
3、采用壓阻傳感閉環(huán)平面掃描器， 最大掃描范圍約為80μm×80μm×8μm，XY方向的開(kāi)環(huán)分辨率≤0.1nm，閉環(huán)分辨率≤3.0 nm。
4、系統(tǒng)噪聲水平（Z方向頻率檢測(cè)的噪聲水平，RMS）：≤±1Hz。
5、一鍵自動(dòng)進(jìn)樣，進(jìn)樣行程≥10mm，步距≤50nm
6、掃描成像速率0.1Hz~30Hz，PID反饋控制的響應(yīng)時(shí)間優(yōu)于10 μs
7、樣品尺寸直徑Φ≤20mm，高度H≤10mm，掃描角度0°、90°、180°、360°可選
8、探針對(duì)樣品檢測(cè)的位置可手動(dòng)調(diào)節(jié)，探針在X、Y方向的可調(diào)節(jié)行程≥6mm
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